Debem气动隔膜泵在在炉管清洗机上也有广泛的应用。炉管清洗机用于清洗半导体制造过程中使用的炉管,以去除残留的杂质和污染物,确保炉管的清洁和性能。
在炉管清洗机中,气动隔膜泵可以用于以下几个方面的应用:
供应清洗液:炉管清洗机需要提供清洗液来清洗炉管内部表面。气动隔膜泵可以用于泵送清洗液,将清洗液从储液罐输送到清洗室,并保持适当的流量和压力,以确保炉管内部得到有效的清洗。
排放废液:清洗过程中产生的废液需要及时排放,以避免对炉管和设备的污染。气动隔膜泵可以用于排放废液,将废液从清洗室或废液收集系统中抽出,并将其输送到废液处理设备中进行处理和回收。
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调节性能好:气动隔膜泵可以通过调节进气压力来控制流量和压力,以适应不同炉管清洗工艺的要求。不同的炉管可能需要不同的清洗液流量和压力,气动隔膜泵的可调节性能可以满足这些要求。
真空抽取:在清洗过程中,可能需要在炉管内部产生一定的真空环境,以增强清洗效果或去除残留的清洗液。气动隔膜泵可以用于抽取空气,形成所需的真空环境。
气动隔膜泵在炉管清洗机上发挥着重要的作用,用于供应清洗液、排放废液、调节流量和压力,以及提供真空抽取功能。其可靠性、耐腐蚀性和可调节性能使其成为炉管清洗机中不可或缺的组成部分。