在片盒清洗机中,Debem气动隔膜泵发挥着重要的作用。片盒清洗机用于清洗半导体芯片的载体,即片盒,以确保载体的清洁和可靠性。气动隔膜泵在片盒清洗机上的应用主要包括以下几个方面:
供应清洗液:片盒清洗机需要提供清洗液来清洗载体表面。气动隔膜泵可以用于泵送清洗液,将清洗液从储液罐输送到清洗室,并保持适当的流量和压力,以确保载体得到有效的清洗。
排放废液:清洗过程中产生的废液需要及时排放,以避免对载体和设备的污染。气动隔膜泵可以用于排放废液,将废液从清洗室或废液收集系统中抽出,并将其输送到废液处理设备中进行处理和回收。
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冲洗和烘干:在清洗完载体后,需要进行冲洗和烘干步骤,以去除残留的清洗液并确保载体的干燥。气动隔膜泵可以用于供应冲洗液和干燥介质(如气体),以实现对载体的冲洗和烘干。
调节性能好:气动隔膜泵可以通过调节进气压力来控制流量和压力,以适应不同载体清洗工艺的要求。不同的载体可能需要不同的清洗液流量和压力,气动隔膜泵的可调节性能可以满足这些要求。
气动隔膜泵在片盒清洗机上扮演着关键的角色,用于供应清洗液、排放废液、冲洗和烘干载体,并具有灵活的调节性能。其可靠性、耐腐蚀性和精确的控制能力使其成为片盒清洗机中不可或缺的组成部分。