半导体无机高纯气体机的分类及Fink高精计量泵的应用

高纯气体(Purified Gases)气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。

高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。

通常半导体生产行业，将气体划分成常用气体和特殊气体两类。其中，常用气体指集中供给而且使用非常多的气体，比如 N2、H2、O2、Ar、He 等。随着国民经济各部门的飞速发展，对气体工业的产品提出了越来越多的需求，国内气体工业的大发展使气体产品不仅在品种上大大增多，而且气体纯度越来越高，其含量常常在99.999%以上。

Fink高精度计量泵是应用在高纯气体制备上的专用泵，与输送介质接触的所有组件，例如阀，隔膜，泵头和流体螺栓连接，均由纯净的PTFE和特殊的PTFE改性制成，并保证了高度的耐化学性。专业用于实验室，工艺优化，研发领域，以及工业应用中的微量计量。

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