混合气体输送泵的主要由泵壳，不对称安装的转子和磁耦合驱动电机组成。转子（转子）中装有3-5个槽，并安装了位移板（滑块）。旋转的转子的离心力将它们压在壳体壁上，并形成多个输送腔。通过不对称安装在吸力侧的转子增加了它们的体积，并产生了吸力过程。
转子进一步旋转再次减小了腔室的转子的进一步旋转再次减小了腔室的体积，气体被压出至泵的压力侧。
混合气体输送泵通常以磁耦合设计制造。因此它们是气密密封的，并且还通过了氦气泄漏测试。
它是专为简单的气体输送任务而设计，也适用于恶劣的工业条件和腐蚀性气体应用。因此，泵壳以客户和面向应用的方式由各种硬化的不锈钢，陶瓷和碳化钨（硬质金属）制成。位移板由SiC陶瓷，PEEK或特殊碳制成，不需要任何润滑。
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