氯硅烷是一种化学品，能与含活泼氢的化合物进行激烈反应。氯硅烷能与含活泼氢的化合物进行激烈反应，如与水、醇、酚、硅醇、有机酸等，放出氯化氢。
高纯氯硅烷在半导体工业中主要用于制作高纯多晶硅、通过气相淀积制作二氧化硅薄膜、 氮化硅薄膜、 多晶硅隔离层、 多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料、 以及离子注入源和激光介质等， 还可用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器等。
Fink计量泵是应用于半导体高纯氯硅烷模块系统的专用泵，它的部件均为聚四氟乙烯材质，具有抗腐蚀性，可以使实输送介质免受污染。微小计量的精确高，可计算，不易堵塞，适用于各种粘度流体。
德国FINK高精度专用计量泵是专业的、高精度的微量计量泵，在欧美广泛用于实验室、工艺优化、研究和开发，也用于微量计量的工业应用。
微量计量技术的一个难点是根据整个系统选择适用的配件，以实现一个平衡的动力协调系统。 而FINK计量泵可根据用户的需求，支持从最初的安装测试到最终与全射流技术系统和控制系统集成与交付提供了一系列的解决方案。可以进行现场调试，并能根据要求提供度身订造的培训。
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