刻蚀常用化学品——Debem气动隔膜泵和Gemmecotti磁力泵的应用
很多微电子生产工艺过程需要各种化学品,包括:
CF4:
无色无臭毒性气体。不燃,若遇高热,容器内压增大,有开裂和爆炸的危险。吸入后可引起头痛、恶心呕吐、快速窒息等。
HF:
无色透明至淡黄色冒烟的液体,有刺激性气味,具有弱酸性。腐蚀性强,对牙、骨损害较严重,对皮肤有强烈的腐蚀性作用。
HCL:
无色透明液体,为一种强酸,具有挥发性。眼和皮肤接触可致灼伤,长期接触可引起鼻炎、皮肤损害等。
HNO3:
无色透明液体,具有强氧化性、强腐蚀性,有窒息性刺激气味,在空气中冒烟,见光易分解生成NO2而显棕色。
NaOH:
白色晶体,有强烈的腐蚀性,有吸水性,可用作干燥剂,溶于水同时放出大量的热量。
Debem气动隔膜泵和Gemmecotti磁力泵非常适合处理以上化学品。
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